| 型號 | OTF-1100X-15-III |
| 爐體結構 | ? 雙層殼體結構，并帶有風冷系統 ? 采用氧化鋁纖維作為爐膛材料 ? 加熱元件：SiC棒 ? 設備中配有2個氧化鋁管堵，以保證爐膛內部溫度均勻性（爐體加熱前，管堵必須塞入到爐管內部） ? 此管式爐可作為退火或擴散管式爐（6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架裝載） ? 電動開啟式設計，使得用戶操作更加簡便 結構圖氧化鋁管堵晶片裝載電動開啟 |
| 加熱區 | ? 總加熱區長度1000mm ? 三個加熱區: 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone) |
| 工作溫度 | ? 最高工作溫度1100℃ ? 最高加熱速率：10℃/min ? 加熱元件：SiC棒（36根） |
| 溫控系統 | 控溫精度為+/-0.5℃ |
| 爐管 | ? 15英寸高純石英爐管：尺寸：400mm OD. x 388mm ID. x 1860mm L ? 注意：石英爐管易碎，操作需謹慎 |
| 真空密封&法蘭 | ? 一對不銹鋼真空密封法蘭（鉸鏈式），4個硅膠密封圈，可使爐管內真空度達到10^-3torr（采用機械泵抽真空） ? 左端法蘭：安裝有不銹鋼針閥，Φ6.35的進氣口 ? 右端法蘭：KF40真空泵接口Φ6.35鎧裝接口（用于熱偶插入到爐管內，測量爐管內溫度和進行溫度校準） |
| 可選 | ? 此管式爐需定期校準，以保證溫度的準確性和均勻性，我們可提供簡單的校準工具： ·1根1200mm的K型鎧裝熱偶 ·1個Omega溫度校準儀表 ·此型號管式爐只可選用機械泵，且最低真空度只能夠抽到-0.05MPa，否則可能造成爐管損傷 ·4'' ~ 8'' 晶片石英支架 ? 可與手套箱系統聯用，實現氧敏感性材料的燒結制備 |
| 電壓 | ? 三相380V，50/60 Hz |
| 額定功率 | ? 20KW |
| 產品尺寸 | ? 2300L x 1500W x 1400 H mm |
| 凈重 | ? 300kg |
| 質保期 | ? 一年質保期，終身維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈） |
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| 認證 | ? 此產品已通過CE認證 證書編號：M.2021.206.C67998 |
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