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1350℃溫控型插入式蒸發源
關鍵字:
帶有磁流體密封,KF50法蘭,針對于PVD實驗
型號:
GSL-1350X-ISE
產品概述:
GSL-1350-ISE是一款溫控型可插入式蒸發儀,適用于蒸發各種金屬和有機材料,其最高溫度可達1350℃。采用磁流體密封,可保證在旋轉的腔體中進行PVD實驗。KF50的旋轉式快接法蘭,可非常方便地與各種真空腔體對接。此模塊還配有一進氣閥,用于通入氣體對腔體進行清洗和排氣,保證樣品在蒸鍍過程中不被氧化。
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結構?&?特點

此蒸鍍系統升溫可以手動和自動兩種模式。手動模式可以快速加大電流,達到快速加熱蒸發,但溫控性較差。自動控制控溫較準確。

 

采用鎢線圈加熱,氧化鋁坩堝裝料,其最高溫度可達1350℃

 

精確控溫,可設置30段升降溫程序,控溫精度可達+/- 1 oC

 

Φ6.35mm進氣口,可向蒸鍍腔體中通入氣體

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電源

電壓:208 - 240 VAC 50/60 Hz, 單相, 500W

? 溫控系統?&?加熱源

最高工作溫度: 1350oC (<1hr)., 連續工作溫度:1200℃

 

500WDC蒸發電源,最大電流30A

 

鎢絲加熱,S型熱偶測溫,氧化鋁坩堝裝樣

 

溫控系統可設置30段升降溫程序,控溫精度:+/- 1 oC

 

建議升溫速率< 30 oC/min

 

若長期工作在800℃以上,必須用高溫棉填滿耐火保溫層與坩堝之間的間隙。可減少鎢絲加熱元件的損耗。

    wps265.png   wps266.png

樣品坩堝

配有0.7ml的氧化鋁坩堝

 

S型熱電偶嵌在坩堝底部,用于精確測量加熱溫度

進氣口

6.35進氣口,用于向蒸鍍腔體中通入氣體

 

一個針閥安裝在進氣口后端,用于控制其氣體流量

可選

可選購快接法蘭,接口為KF50,可與Φ50mm爐管對接

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質保

一年質保期,終身維護

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