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1200℃1英寸雙溫區管式爐CVD系統
- 關鍵字：
- 1英寸 雙溫區
- 型號：
- OTF-1200X-S25-II-SL
- 產品概述：
- OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型雙溫區管式爐CVD系統。它由帶快速鏈接法蘭的小型雙溫區滑軌爐、質子流量控制器、真空泵三部分組成。雙溫區滑軌爐可移動并可實現快速升降溫；觸屏式三路質子流量器，能夠精確控制系統的供氣；真空泵可實現對管式爐快速抽真空。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
| OTF-1200X-S25-II?-SL管式爐
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爐體結構 | · 采用雙層殼體并帶有風冷系統
· 爐底安裝一對滑軌，可滑動，內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 | 爐管尺寸 | Φ25×1000mm | 功率 | 1.2kW | 輸入電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz | 加熱元件 | Cr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金） | 最高溫度 | 最高1200℃ 額定溫度 1100℃ | 升溫速率 | ≦10℃/min（推薦） | 加熱區長度 | · 兩個加熱區的長度都是100mm
· 分別由獨立的溫控系統控制 | 控溫精度 | ±1℃ | 快速連接法蘭 | · KF25不銹鋼真空法蘭
· 打開法蘭直接卸下卡箍即可，取放樣品方便
· 另配備有可調節高度的法蘭支架 |
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| 真空系統（多種真空系統可選請點擊這里)
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殼體尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm | 最大承載量 | 1000 Lbs | 抽氣速率 | · 3L/S
· 極限真空度：10-1Pa
· 雙層立式油污過濾器(PE材質）與真空泵連接 | 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz | 功率 | 550/400W（單相/三相） |
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| 三路質子流量控制系統（多路質子流量器可選，詳情請點擊這里）
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針閥材質 | 316不銹鋼 | 工作溫度 | 5～45℃ | 外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H) mm | 電壓 | AC220V/50Hz單相 | 功率 | 23W |
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| 質保期
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一年質保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈加熱元件等易耗件
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| 質量認證
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· 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CSA認證
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| 使用注意事項
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· 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
· 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
· 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
· 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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