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三溫區頂部籽晶助溶劑法(TSSG)單晶生長爐
- 關鍵字:
- 最高溫度1200℃
- 型號:
- VTF-1200X-III-TSSG
- 產品概述:
- VTF-1200X-III-TSSG是一款3溫區頂部籽晶助熔劑法(TSSG)晶體生長爐。此設備主要由3部分組成:3溫區加熱爐(爐膛尺寸為:Φ127mm×600mm,最高溫度為1200℃),溫控系統可設置28段溫度程序段,控溫精度±1℃和精密旋轉提拉機構,其提拉速度為0.8-50mm/hour.
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爐體
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3溫區加熱: 150mm+300mm+150mm,三個溫區由獨立的溫控系統控制,可創造出較大的溫度梯度 最高工作溫度: 1200℃(小于1小時) 連續工作溫度: 1100oC 功率: 208V- 240V AC, 50/60Hz, 單相 最大功率: 5KW
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控制面板
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· PLC觸摸屏控制面板,可設置和控制提拉行程,提拉速度和旋轉速度等 · 溫控系統:可設置28段溫度段,采用PID方式調節溫度,其控溫精度為±0.1℃ · 升溫速率: 0~10oC / min · 提拉速度: 0.8-50mm/h (可調) · 下降速度: 40 mm/minute · 籽晶桿轉速: 0.1-23 RPM(可調)
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最大提拉行程
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300mm
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加熱腔體
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· 腔體直徑為Φ135mm(設計為開啟式),最大可直徑為Φ80mm的坩堝 · 加熱區長度600mm 可選購真空密封件:直徑為Φ127mm的石英管和密封法蘭 
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設備尺寸
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質保
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一年質保期,終身維護(不包含爐管,密封圈和加熱元件等耗材)
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