| 設備名稱 | 800℃ CSS（斜杠）RTP快速熱蒸鍍爐（配5英寸旋轉樣品臺）-OTF-1200X-RTP-II-5-R （2019.10.24--科晶實驗室審核） |
| 產品提示 | 1.科晶實驗室邀請提示 2.圖片未及時更新提示 3.多種配件可選提示 4.危險設備操作提示 |
| 主要特點 | ·快速升溫，最高達10℃/s。 ·最高溫度可達800℃。 ·由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部，兩溫度控制器進行獨立控溫。 ·兩樣品臺距離以及旋轉均可通過觸摸屏控制。 ·頂部載樣臺可旋轉。 |
| 基本參數 | ·工作溫度：最高800℃，兩個加熱區之間的最大溫差為300℃ ·最快升溫速率：10 ℃/s ·冷卻速率：>10 ℃/s（800-300℃） ·真空度：20Pa（機械泵），10E-1Pa（分子泵） ·控溫精度：+/-0.1℃（歐陸表） ·加熱元件：紅外燈管 ·最大功率：10KW(>50A保險) ·熱電偶：K熱電偶 ·超溫和斷偶保護 ·設備電源：AC220V/50HZ 單相 更多參數請聯系科晶銷售部 |
| 加熱元件和載樣臺 | ·由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部 ·兩個加熱臺之間的距離可以通過直流電機調節（觸摸屏控制） ·頂部載樣臺轉速可調，0-10 r/min（觸摸屏控制） ·為了減少熱量輻射和達到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作） ·采用導熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作為載樣臺，以達到較好的加熱均勻性
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| 真空法蘭 | ·真空法蘭為316不銹鋼制作 ·頂部法蘭（可通過控制盒進行上升和下降）： 一機械壓力表 一KF16接口，可以安裝防腐真空計 兩個不銹鋼精密針閥用于氣體的進出 ·底部法蘭： 一KF25接口，可以與真空泵相連接 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封 |
| 尺寸 | 790mm × 600mm × 1100mm
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| 認證 | ·若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或者CAS認證。 |
| 質保 | 一年質保期，終生維護（不包括密封圈、加熱元件和石英管） |
科晶實驗室對OTF-1200X-RTP-II-5-R設備做了一系列實驗研究：
蒸鍍物料：硒化銻；基底：石英片
結論：基底310℃，蒸發源700℃，蒸鍍3min以上可在石英片上蒸鍍硒化銻。
基底溫度/℃ | 蒸發源溫度/℃ | 蒸鍍后 | |
310 | 560 |
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320 | 570 |
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330 | 580 |
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340 | 590 |
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350 | 600 |
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370 | 620 |
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310 | 700 | 蒸鍍2min |
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310 | 700 | 蒸鍍3min |
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310 | 700 | 蒸鍍5min |
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鍍膜形貌：
由SEM圖可看到，鍍層表面顆粒大小均勻，總體分布均勻。
樣品 | SEM形貌 | |||
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XRD檢測：
對比兩個XRD圖可知，蒸鍍后基底出現新的Sb2Se3成分，說明Sb2Se3薄膜成功蒸鍍。
光能薄膜電池循環檢測：
對蒸鍍后的材料做電池循環檢測，循環周期為15 ，說明成功制做出光能薄膜電池。
若有疑問或需要更多詳細數據請聯系科晶實驗室
應用提示 | ·頂部載樣臺近距離旋轉蒸鍍時，應注意上下距離，避免旋轉時夾樣夾螺釘刮蹭坩堝。 ·使用冷阱時，由于是剛性連接，注意冷阱與腔體保持在同一水平線上，避免腔體升降產生應力導致接口脫離。 ·由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。 |
警示 | ·爐管內氣壓不可高于0.02MPa。 ·對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
相關可選 | ·可選用真空系統配套使用：機械泵真空度達 50 mtorr(圖1)； 分子泵真空度可達 10E-4 torr。(圖2) ·如果使用腐蝕性氣體，請使用冷阱或防腐干泵。(圖3) ·可選購合肥科晶的循環水冷機配套使用。(圖4) ·多種混氣、供氣系統可選。(圖5) ·可選購5"x5"的石墨坩堝放于底部載樣臺用來盛放蒸發原料，提高溫度均勻性。（圖6）
圖1 圖2 圖3
圖4 圖5 圖6 |
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