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滑動式三溫區管式爐PECVD系統
關鍵字：
滑動式 三溫區
型號：
OTF-1200X-50-III-S-4CV-PE-SL
產品概述：
OTF-1200X-50-III-S-4CV-PE-SL 是一款滑動式三溫區管式爐PECVD 系統。該系統包含等離子射頻電源，50OD*2100mm L的滑動式單溫區管式爐，4通道質量流量供氣系統和機械泵機組，可用于生長納米線或石墨烯及薄膜材料領域。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
設備名稱

滑動式三溫區管式爐PECVD系統 OTF-1200X-50-III-S-4CV-PE-SL
產品特點

·射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

·滑軌式可快速加熱和快速冷卻；   

·三個加熱區，溫度梯度最大可達200℃

·可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。
加熱爐參數

·電源：電壓要求：AC 208-240V 單相, 50/60 Hz

·功率4.8KW

·最高溫度：1200℃（小于0.5小時）

·連續工作溫度：1100℃

·加熱區長度：600mm，（三溫區：150mm+300mm+150mm)

·最大升溫速率: ≤ 20 °C/min（加熱元件壽命原因建議升溫速率）

·爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。

圖片1.png
溫控系統

·包含一款858P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達±0.1℃）

·PID自動控溫系統

·智能化50段可編程控制

·控溫精度：±1℃

·默認DB9 PC通信連接端口

·RS485通訊接口

·PC控制軟件：可選購PC控溫軟件，可用電腦控制爐體和記錄數據

圖片2.png
射頻電源

項目

100W射頻電源

300W射頻電源

500W射頻電源

輸出功率

0-100W可調

（穩定性：±1%）

0-300W可調

（穩定性：±1%）

0-500W可調

（穩定性：±1%）

射頻頻率

13.56 MHz

（穩定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩定性：±0.5%）

匹配

自動匹配

自動匹配

自動匹配

噪音

＜50dB

＜50dB

＜50dB

冷卻方式

風冷

風冷

風冷

輸入電壓

AC180-250V

AC180-250V

AC180-250V
真空系統

·采用TRP-12的雙旋真空泵；

·KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

·真空度可達10-2Torr。

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·搭配TRP-12的雙旋真空泵（抽速3L/s）（總進氣量小于150sccm，該泵可以達到等離子發生真空度）

·搭配TRP-60雙旋真空泵（抽速10L/s）（總進氣量1L/min，該泵可以達到等離子發生真空度）
供氣系統

·四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）

·流量范圍：

 一路0-100 sccm 

 二路0-200 sccm 

 三路0-200 sccm 

 四路0-500 sccm 

·電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

·氣體進出口配件：6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管；

·不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

·PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置

注：接入供氣系統的氣源需搭配減壓閥，將氣壓降至2mpa以下

圖片4.png
產品尺寸和重量

·設備總體尺寸：2500X750X1510mm(長寬高）

·凈重：310kg

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注意

注意事項：采用氬氣高于射頻功率200w情況下，需特殊說明，設備需要特殊改造及測試，（有法蘭過熱情況）

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注意事項：采用氬氣高于射頻功率200w情況下，需特殊說明，設備需要特殊改造及測試，（有法蘭過熱情況）

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