| 設備名稱 | Mist-CVD系統 GSL-1600X-CVD |
| 工作原理 | ·加熱爐利用電流使爐內加熱元件發熱，采用固態繼電器進行電路控制，采用溫度傳感器（熱電偶）檢測爐內溫度，熱電偶檢測到的溫度反饋到控溫儀表。 ·智能控溫儀可設置升溫過程（升溫速度），儀表采集到熱電偶反饋的爐內溫度信號，會通過PID調節輸出合適的電壓信號，固態繼電器接收到儀表的輸出信號，控制自身的通斷時間從而達到調節爐內溫度穩定的目的，使得高溫爐按照控溫儀設置好的升溫過程進行升溫。 |
| 基本參數 | 參數： · 電源：AC220V50HZ · 功率：5.2KW 工作溫度： · 最高溫度：1650度＜1h · 連續工作溫度：≤1600度 · 推薦升溫速率：1400度以下：≤10℃/min，1400-1600度：≤5℃/min，1600-1650度：≤2℃/min · 爐膛尺寸：290*180*170mm（長*寬*高） 溫控系統： · 宇電50段智能控溫儀，可設置50段升降溫程序 · PID方式調節溫度 · 帶有溫度上限報警，操過上限溫度會切斷加熱開關，停止加熱 · 控溫精度:±1度 · 熱電偶：B型 · 剛玉管：φ40*1200mm（其它尺寸可定制） |
| 不銹鋼密封法蘭和接口 | 一對不銹鋼密封法蘭，尺寸：φ40 左端法蘭： · 一個φ6.35mm的卡套接頭作為進氣口使用 · 一個不銹鋼截止閥控制進氣 · Φ12mm的接口做為霧化氣進口， 法蘭內部配置一根φ25*680mm剛玉管伸到爐子加熱區部分 · 一個量程-0.1—0.15MPa的機械壓力表 右端法蘭： · 一個φ6.35mm的卡套接頭作為出氣口使用 · 一個不銹鋼截止閥控制出氣 · 一個KF-25接口做為抽真空接口或連接收集系統 · 一個安全閥，當壓力超過0.02MPa時會自動泄壓
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| 霧化器 | ·霧化片厚度直徑：1.2mm×φ20 ·頻率：1.7MHz ·工作電壓：24V/650mA ·液體罐標配為316不銹鋼材質（PTFE及其它材質的罐子可以與銷售聯系進行定制），并采用氟膠密封圈密封； ·可設置1-5檔霧化量，通過調節檔位大小，控制霧化量的多少； ·可實現連續運行霧化和定時運行霧化兩種功能。定時時間從30分鐘到180分鐘可調
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| 注射泵 | · 線速度范圍：6.1um-120mm/Min · 注射液體速度：3.9ul-76.5ml/min（按照60ml注射器計算） · 適用注射器類型：10ul-60ml · 控制精度：當＞30%滿程時，控制誤差≤±0.3% · 注射泵尺寸：260*203*131（mm）
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| 二路浮子系統 | · 型號：CGM-2F · 浮子流量計的量程：16-160ml/min · 壓力表量程：-0.1-0.15Mpa · 通氣管道： ?6.35mm的聚四氟管 · 外形尺寸：340L×300D×180H，mm · 重量：6Kg
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| 高壓電源（選配） | · 功率：30W · 電壓：0-30KV ,正常工作電壓≤15KV 電流：≤1mA · 電壓電流指示：額定輸出電壓下精度為1%
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| 收料罐（選配） | · 兩個KF-25接口 · 一個高壓電極接入端 · 一個外徑φ12出氣口 · 可觀察罐子內部情況的石英觀察窗口，窗口尺寸：φ35*3mm · 收集管放在升降平臺上，可由升降平臺帶動收集罐的升降 · 正極和負極筒之間通過PTFE板連接，實現絕緣 · 收料筒最大容積700ml，有效容積150ml
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| 真空系統（選配） | · 型號：VRD-8 · 電源：AC220V/50Hz · 功率：0.4KW · 極限真空度：5.0*10-1Pa（無負載） · 抽氣速率：2.2L/s · 抽氣口：KF25接口
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| 外形尺寸 | 管式爐尺寸：670長*490寬*770mm高 霧化裝置尺寸：150*150*300mm（長*寬*高） 注射泵尺寸：265*200*150mm（長*寬*高）
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| 重量 | 約120KG |
| 保質期 | 1年（不包含爐管、O型圈、加熱元件等損耗件） |
| 使用注意事項 | ·爐管內的氣壓不可高于0.02MPa； ·氣瓶上必須安裝減壓閥； ·對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數， 若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開出氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） ·我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關防護和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。 ·由于氧化鋁管制作工藝的原因，爐管在燒結過程中會存在斷管的風險，這是無法完全避免的，請客戶知曉 |
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