| 設備名稱與型號 | 三靶等離子濺射鍍膜儀 VTC-16-3HD |
| 主要參數 | · 輸入電源： AC 220V 50/60HZ · 濺射電流：0-40mA可調 · 功率：＜1KW · 輸出電壓：最大1680V DC |
| 濺射腔體 | · 材質：采用石英材質作為腔體 · 尺寸：OD166mm*ID150mm*150mm · 密封：采用O型圈密封 · 法蘭蓋上安裝了一個可手動操作的擋板，用于靶材的預濺射。一個φ6.35的卡套接頭為進氣口，用于連接進氣管。一個手動放氣閥用于往石英腔體內部充入空氣。 ·一個不銹鋼網罩罩住整個石英腔體，以屏蔽等離子體。
· 通過調節殼體右側的微量精密調節閥控制進入石英腔體內部工作氣體的流量，從而達到調節腔體內部的真空度 · 通過調節殼體右側的電位器，實現對濺射電流大小的控制。
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| 靶材 | · 標配三塊銅靶材 · 靶材尺寸要求：φ47*（0.1-3）mm厚度 · 可在我公司選購其他金屬靶材，詳細請咨詢銷售部門 · 安裝有一可手動操作的擋板，用于靶材的預濺射。 |
| 樣品臺 | · 一個φ50mm的可旋轉的樣品臺，樣品臺支撐柱上有固定螺絲，擰松螺絲即可調整樣品臺的高度； · 樣品臺旋轉角度:0/120/240度； · 靶材和樣品臺之間的距離為20-70mm可調；
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| 控制面板 | · 4″PLC集成觸摸屏控制面板，可控制真空、電流、樣品濺射時間
· 數據記錄功能可以記錄每次濺射的真空度、電流和濺射時間等工藝參數，方便客戶進行查詢 |
| 真空系統（選配） | · 型號：VRD-8 · 抽氣速率：2.2 L/S · 電機功率：370 W · 極限壓強：5×10-1Pa（不帶負載） · 實際壓強：≤5 Pa（冷態下機械泵抽20分鐘） · 如果想要獲得更高的真空度（10-5toor or better）可選購國產或進口高真空機組
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| 質保和質量認證 | · 一年質保期，終生維護 · CE認證 |
| 外形尺寸 | 460*400*500mm（長*寬*高） |
| 重量 | 約20KG |
| 使用提示 | · 為了達到理想的薄膜厚度，需要多次濺射鍍膜 · 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、樣品和樣品臺的潔凈 · 要達到薄膜與基底良好結合，請在濺射前清潔基材表面，可選購本公司的清洗設備進行清潔 · 此款設備可放入手套箱中濺射（Ar或N2氣氛環境） |
注意事項 | · 腔室內氣壓不可高于0.02MPa（相對氣壓）； · 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向石英管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。 |
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皖公網安備 34012302000974號
