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石英舟(可用于晶圓擴散處理1"-12")
- 產品概述:
- 高純度石英舟使用溫度可高達1200℃
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
基本參數
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石英舟是由超高純度(4N純度)制成的,用于擴散、氧化和退火,最高 1200℃。 每只能攜帶一個尺寸的晶圓,最多25片,直徑從1"到12",0.5毫米厚 尺寸 | 可放入爐子
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| 1“ | OTF-1200X φ50
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帶石英舟的1"晶圓片 | 
機械繪圖 | 
帶石英舟的1"晶圓片 可放入2"管 | 
將1"晶圓片置于爐中央 | 2“ | OTF-1200X φ80 | 
帶石英舟的2"晶圓片 | 
2"石英舟橫截面繪圖(mm)-長度180mm | 
帶石英舟的2"晶圓片 可放入3"管 | 
將2"晶圓片置于爐中央 | 3“ | OTF-1200X φ100 | 
帶石英舟的3"晶圓片 | 
3"石英舟橫截面繪圖(mm)-長度180mm | 
帶石英舟的3"晶圓片 可放入4"管 | 
將3"晶圓片置于爐中央 | 4“ | OTF-1200X-5L | 
帶石英舟的4"晶圓片 | 
4"石英舟橫截面繪圖(mm)-長度180mm | 
帶石英舟的4"晶圓片 可放入5"管 | 
將4"晶圓片置于爐中央 | 4"X4“
| OTF-1200X-5L VBF-1200X-H8 | 
4"的晶圓片配有一艘石英舟 |
| 4"x4"方晶圓片(帶石英舟) 可放入8"管內 | 
將4"晶圓片置于爐中央 | 6" | GSL-1100X-8.5-S
GSL-1100X-8.5-S-III VBF-1200X | 
6"石英舟的尺寸 |  | 
帶石英舟的6"晶圓片 可放入7"管內 | 
能放入VBF-1200爐中 | 8" | GSL-1100X-11-III | 
8"石英舟的尺寸 |  | 
帶石英舟的8"晶圓片 可放入8.5"管內 | 
將8"晶圓片置于爐中央 | 12" | OTF-1100X-III
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12"石英舟的尺寸 |  | 
帶石英舟的12"晶圓片 可放入15"管內 | 
將12"晶圓片置于爐中央
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注意事項
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·請在接受交貨前檢查包裝是否損壞。 如果發現損壞,請保留所有包裝材料,拍照,并立即向發貨方報告。
·請注意,此產品屬于易耗品,不在保修范圍內。使用前,請檢查清楚。
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