| 規(guī)格型號 | ·1200℃六通道高潔凈氫氣爐 GSL-1200X-MGI-6-H2 |
| 產(chǎn)品特點 | ·采用不銹鋼腔體包裹保溫材料，保證爐內(nèi)較高潔凈度 ·爐管和腔體夾層內(nèi)（保溫層）通入惰性氣體，在使用氫氣時如果爐管破裂氫氣逃逸到夾層內(nèi)，不會產(chǎn)生爆炸，使用氫氣時設備更加安全 ·可同時放入6個樣品，在不同溫度下進行熱處理 ·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，表面涂有氧化鋁涂層，可提高爐膛加熱效率，延長爐膛使用壽命 ·雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風冷系統(tǒng)，可保證殼體表面溫度較低 ·可選配裝壓力傳感器和電磁泄壓閥，具備自動恒、壓超壓泄壓功能，確保設備更加安全
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| 應用背景 | ·在清潔室內(nèi)熱處理半導體元件（氫氣氣氛）
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| 加熱爐基本參數(shù) | ·電源電壓 AC三相380V 50/60HZ ·最大功率:48KW ·最高溫度1200℃（≤30min） ·長期工作溫度：1100℃ ·控溫熱電偶:K型 ·加熱區(qū)長度700mm ·升溫速率：≤10℃/min ·加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁電阻絲
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| 溫控系統(tǒng) | ·溫控模塊+PC機控制方式，標配一套控溫軟件 ·六個通道獨立控溫,可以一鍵六個通道升溫或停止，單個通道也可以單獨控制 ·包含一款858P 型溫度控制器（也可以選配歐陸儀表恒溫精度可達±0.1℃） ·PID自動控溫系統(tǒng) ·智能化50段可編程控制 ·默認DB9 PC通訊連接端口 ·控溫精度：±1℃ ·所有的電氣元件都通過UL或MET認可，并可通過世界范圍內(nèi)的其他相關安全測試
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| 不銹鋼密封法蘭系統(tǒng) | ·六套水冷法蘭，材質(zhì)：304不銹鋼 ·密封方式：采用法蘭壓緊O型圈方式 ·前端法蘭采用KF60卡箍形式方便取放樣品，裝有機械壓力表，截止閥，G1/4進氣口 ·后端法蘭留有KF25抽氣口，出氣口和截止閥 ·每個通道有獨立的進氣和出氣口，可實現(xiàn)真空和氣氛下燒結(jié)制備
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| 供氣系統(tǒng) | ·標配有6個獨立的進氣口，通過6個40-400ml/min浮子流量計進行氣流量調(diào)節(jié)，從左邊出氣然后和法蘭進氣口連接。如下圖 ·如果需要更精確流量，請選擇質(zhì)量流量控制器供氣系統(tǒng)
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| 控制系統(tǒng) | ·通過PC機可以設置升--恒--降溫曲線 ·腔體內(nèi)壓力，真空度，溫度都可以在PC機上實時顯示 ·通過軟件可以設置管式爐的清洗模式：手動清洗和自動清洗， 自動模式為真空泵和進氣系統(tǒng)自動切換工作，可設定清洗次數(shù) ·通過軟件設置恒壓燒結(jié)模式：在加熱爐升溫的過程中，選擇恒壓模式，控制系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)進氣和出氣量，使加熱爐在升溫的過程中保持在微正壓的狀態(tài)。（恒壓范圍100000pa-115000pa） ·實驗數(shù)據(jù)可以進行保存，記錄，下載，也可以生成工藝曲線保存，下次實驗時調(diào)取
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| 過壓保護 | 兩種過壓保護措施： ·可選配電子壓力變送器，設定排氣壓力，高于排氣壓力，排氣閥打開加速泄氣 ·標配安裝過壓機械排氣閥，設定開啟壓力（0.04mpa） ·可選裝氣體報警器，檢測到危險氣體濃度過高可以自動切斷氣源 ·可選裝與攝像頭手機等聯(lián)動，實現(xiàn)智慧實驗室管理 |
| 爐管 | ·高純石英管尺寸： ·25 O.D x 19 I.D x 1200 L (mm) ·50 O.D x 44 I.D x 1200 L (mm) ·60 O.D x 55 I.D x 1200 L (mm) ·為了獲得更高的工作溫度，可選用鎳基合金管，溫度可達1200℃ ·也可以選擇鋯合金管，耐堿性腐蝕，長期使用800℃
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| 可燃尾氣處理裝置（選配） | 如在氫氣環(huán)境下處理樣品可以選擇氫氣尾氣處理裝置參數(shù)如下： ·可適用多種可燃氣體的尾氣處理（制定氣體需提前和銷售溝通） ·體積小，安裝方便，操作簡單 ·內(nèi)部有電流互感器，檢測到電阻絲沒有加熱時，切斷進氣和出氣 ·電源：AC單相220V 50/60Hz ·功率：200W ·兩路進氣口，惰性氣體進氣口（接氣源）和氫氣進氣口（接氣源），進氣為G1/4雙卡套接口 另外可選高通量版本，進出氣口數(shù)量可定制 ·氣源接入后通過浮子流量計（浮子流量計量程0.1-1L/min）調(diào)節(jié)流量大小，通過G1/4雙卡套接頭輸出后接入管式爐進氣口 ·可燃氣體從管式爐內(nèi)輸出后接入該設備可燃氣體進氣口，接口為G1/4雙卡套接口 ·點火裝置：采用進口電阻絲加熱點火，表面涂有氧化鋁涂層，減緩電阻絲氧化，裝有電流互感器，可以檢測電阻絲是否加熱 ·點火異常切斷進氣和出氣，以及加熱爐接觸器（接口預留，加熱爐進行簡單改造） ·可外接氫氣濃度報警器，檢測到氫氣濃度報警自動切斷進氣及點火（接口預留），報警器選配
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| 氫氣探測器（選配） | ·有兩套氫氣探測器可供選擇： 一套為固定式，安裝在固定支架上面，可以實時監(jiān)測設備氫氣的泄漏情況； 一套為便攜式，可以隨時對設備各個接口進行監(jiān)測。 ·氫氣監(jiān)測范圍：1-1000ppm ·工作溫度：-20℃——60℃ ·報警點設置：氫氣報警器設置有兩個報警 第一級的報警點50ppm，一旦探測到氫氣濃度達到此值時，氫氣報警器將發(fā)出蜂鳴報警聲，提醒客戶檢查泄露點。 第二級的報警點為100ppm，一旦探測到氫氣濃度到達此值時，系統(tǒng)自動關閉氫氣進氣閥。
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| 真空度（選配） | ·標配機械泵，三相VRD-36,真空度可以達到10-2 ttor ·配套分子泵，真空度可以達到10-5 ttor
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| 冷水機（選配） | ·型號：CW-6300 ·電源：AC220V 50HZ ·功率：3.5KW ·工作電流：3.4~18.1A ·制冷量：26826 Btu/h ·水箱容量：40L ·出入水口： Rp1" ·泵最大水流速度：75L/min
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| 外型尺寸 | ·爐體長寬高：1875*1800*1400mm ·電氣柜長寬高：750*600*6800
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| 重量 | ·重量約:950KG |
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