| 電源 | ·總功率：3000W ·208-240VAC, 單相, 50/60Hz |
| 微波 | ·頻率：2.45 GHz ±25 MHz ·輸出功率：1400W ·微波泄露率：≤ 3 mW/cm2（1米范圍內） ·一個數字功率調整器用于調節功率輸出（10-100%） |
| 加熱模塊和爐管 | ·多孔SIC輔助加熱，直徑80mm,安裝在氧化鋁纖維保溫層內（圖1） ·加熱模塊安裝在微波腔體內 ·Φ50mm的石英爐管，中間焊接有石英揚料板（圖2）
圖1 圖2 |
| 密封法蘭&真空度 | ·一對真空密封法蘭安裝在石英爐管兩端 ·KF25真空接口和1/4英寸進氣和出氣口，不銹鋼針閥安裝在法蘭上（圖1） ·一個數顯型防腐真空計安裝在法蘭上，用于顯示爐管內真空度（圖2） ·真空度：10-2torr（采用干泵） 10-5torr(采用分子泵系統） ·設備中不包含真空泵，需要額外花費用購買，對于CVD實驗建議選用干泵（圖3）
圖1 圖2 圖3 |
| 直連式旋轉通氣接口&轉速 | ·2個直連式轉動通氣接頭安裝在兩端法蘭上，可在爐管一邊轉動時一邊通入氣體。 ·轉動速度：采用一個直流電機驅動爐管轉動，轉速1-5RPM ·通氣接口規格：Φ6.35mm
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| 工作溫度 | ·最高工作溫度：1100℃（≤2小時） ·連續工作溫度：1000℃ ·加熱速率：1~20℃/min (可設置） ·僅僅通過微波約可以加熱溫度為750℃ |
| 溫度控制器 | ·可設置30段溫度段：加熱速率，保溫時間，降溫速率 ·SCR溫度控制 ·超溫和斷偶保護 ·控溫精度：±1℃ ·一根K型熱偶插入到爐管內部
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| 凈重 | ·50kg |
| 設備尺寸 | ·微波發生器：560(L) x 410(W) x 340(H) mm ·設備總深度（包括爐管和法蘭）：780mm ·控制器：600(L) x 520(W) x 265(H) mm |
| 質保期 | ·一年質保期，終生維護 ·耗材：坩堝，爐管。加熱元件和密封圈不在質保期內 |
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皖公網安備 34012302000974號
