| 名稱型號 | ·2100℃上稱重CZ晶體生長爐 SKJ-50CZ |
| 特點 | ·采用高精度上稱重模式CZ晶體生長 ·配有中頻/高頻電源，可以真空感應熔煉和磁懸浮真空熔煉爐兩用， ·真空度最高5.0*10-3pa ·配有自動控制和預設工藝的軟件系統
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| 基本參數 | ·電源電壓：三相 AC380 50/60Hz ·總功率：80KW ·最高熔煉溫度:2100℃ ·中頻電源功率：35KVA,電源頻率：1-20KHZ, 輸出電流：10-70A 輸出電壓：70-550V ·高頻電源功率：30KVA,電源頻率：20-200KHZ,輸出電流：7-70A
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| 真空腔體 | ·采用SS304不銹鋼腔體雙層水冷腔體，確保設備工作室表面溫度≤70℃ ·腔體尺寸:Ф500*700mmH ·腔門上有一個80*300mm的方形觀察窗口，方便晶體生長過程中實時觀察樣品的熔化和生長情況 ·腔體上部安裝了一個量程為-0.1-0.5MPa的機械壓力表用于觀察腔室內壓力情況 ·預留G1/4進氣口，并通過一個不銹鋼針閥控制進氣的通斷 ·預留G1/4出氣口，并通過一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷 ·安裝了一個安全泄壓閥，當腔室中壓力大于一定值時將自動泄壓，確保腔體的安全 ·裝有攝像頭，用于攝錄晶體生長過程 ·裝有紅外測溫儀，用于測量坩堝內物料溫度 |
| 提拉機構 | ·采用伺服電機+諧波減速器來提拉籽晶桿 ·采用高精度直線模組可以防止晶體生長提拉過程中卡頓 ·體移動有慢速提拉和快速移動兩種模式 ·提拉行程：200mm ·提拉速度：0.03mm/hr--30mm/hr(可調，精度+/-1um) ·籽晶桿旋轉速度：1-60 rpm ·可根據客戶要求來定制爐體移動速度范圍
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| 上稱重系統 | ·設備標配一套上稱重系統，可以精確的控制晶體生長過程中的工藝參數。 ·秤量程：5KG ·稱精度：0.1g
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| 控制系統 | ·整個電路控制系統在工控機上面實現操作控制,采用國際通用的 labview 軟件進行控制，可以實現以下功能： ·生長斜率及控制參數設定； ·控制晶升，動態可調 ·控制晶轉，可設定多段速自動執行 ·檢測晶體實時重量并反饋至歐陸表組成閉環控制 ·腔體真空和壓力檢測 ·報警監測，晶升晶轉中頻氣壓及稱量程等上限報警 ·實時數據曲線，晶體生長圖例模擬 ·數據記錄，自動存儲運行數據
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| 坩堝系統 | ·坩堝組件可以選配：銥坩堝，鎢坩堝,BN坩堝，剛玉坩堝，Ta坩堝，石墨等 ·坩堝尺寸：外徑100mm,壁厚3mm,高80mm,坩堝外部采用石英砂作為保溫材料，最外層通過一個石英管進行固定。（注：坩堝尺寸可以依據要求定制） ·此單晶爐常規可生長晶體尺寸為≤Ф2”*高度100mm （如需要大尺寸單晶生長，可聯系我司銷售） ·注：晶體生長尺寸不僅和提拉行程有關系，還和溫度、坩堝大小、保溫組件，線圈大小等因素相關，
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| UPS電源 | ·系統配置一套 UPS 電源，用于緊急斷電情況下，對整個控制系統進行不間斷供電 ? 額定功率：5 KVA ? 輸入電源電壓：AC 220V ? 輸入頻率：40-70HZ ? 輸出電壓：AC 220V ? 輸出頻率：50/60 HZ ? 功率因數：99.9%（滿載）
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| 紅外測溫系統 | ·測溫范圍：100℃—3000℃ ·測溫精度：±1% FS ·重復精度：±0.5% FS ·距離系數: 400:1 ·響應時間(95%)： ≤50 ms ·發射率：0.10~1.00 可調 步長：0.01 ·模擬輸出：4---20mA ·工作電壓：24VDC ± 20% ·目視瞄準，可見光斑指示 |
| 水冷系統 | ·系統配置兩套水冷設備，一套給感應電源和腔體水冷，一套給磁懸浮熔煉坩堝水冷。 ·感應電源和腔體水冷設備技術參數： ·工作電流：8.4-34.6A ·制冷量：49474Btu/h ·最大流量：117L/min ·水箱容量：75L 磁懸浮熔煉坩堝水冷設備技術參數： ·工作電流：2.3-13A ·制冷量：17510Btu/h ·水箱容量：15L ·出入水口： 4 分內牙接口 ·最大流量:70L/min
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| 真空系統 | 機械泵參數 ·型號：VRD-48 ·抽氣口接口尺寸：KF40 ·抽氣速率：（48m3/h）13.3L/S ·電機功率：1500 W ·極限壓強4*10-2 Pa 分子泵參數 ·抽氣速率：700L/s ·極限壓強：6×10-6 Pa ·氣動時間≤9min ·額定轉速：3600rpm/min 冷卻方式 ·抽氣口接口尺寸：CF160 |
| 產品尺寸和重量 | ·爐體尺寸長寬高：1250*1150*2700mm ·電氣柜尺寸長寬高：565*800*1740mm ·中頻電源控制柜尺寸：700*400*835mm ·高頻電源+中頻電源本體尺寸長寬高：1320*820835mm ·UPS電源尺寸長寬高：780*450*600 ·重量：1.5噸
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| 認證 | ·通過CE認證 ·若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。  |
| 質保 | ·質保一年，終生維護（不包括，爐膛和加熱元件） |
| 操作展示視頻 |
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皖公網安備 34012302000974號
