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·1200℃自動化智能化CVD系統    GSL-1200X-CVD-ASD

·可配合協助機器人完成自動放樣，自動關閉及密封法蘭，通入惰性氣體清洗，自動控制供氣流量，升溫，恒溫，降溫，自動打開法蘭取出樣品，可以進行多次循環操作

·通過機器人實現對樣品自動放取，實現工藝的完全自動化，

·購買多臺設備可以實現高通量樣品燒結，一臺機器人對多臺設備進行取放樣。

·雙層殼體結構并帶有風冷系統。

·帶有數顯真空計可做微正壓恒壓控制（103000-120000Pa），維持爐內的壓力，

·高純度氧化鋁纖維絕熱材料更加節能

·電源電壓要求：AC 208-240V 單相, 50/60 Hz

·功率：6KW

·最高溫度：1200℃（≤30min）

·連續工作溫度：1100℃

·加熱區長度：350mm

·加熱元件：電阻絲（摻鉬鐵鉻鋁合金）

·熱電偶類型：K型

·推薦升溫速率：≦10℃/min

·爐管：尺寸：φ150*600mm

    材質：高純石英

·包含一款858P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達±0.1℃）

·PID自動控溫系統

·智能化50段可編程控制

·通過UL認證

·控溫精度：±1℃

·一套6英寸全自動密封不銹鋼水冷法蘭，通過電缸進行恒壓力密封和自動開啟

·設備需搭配水冷機使用（進出水口為φ12mm）

·右端法蘭留有一個G1/4雙卡套出氣口與設備內置出氣系統連接，

一個G1/4鎧裝熱電偶插入口用于檢測管內溫度

·右邊法蘭內側有樣品放置平臺（支撐架尺寸詳見目錄 樣品臺支架）

·左邊留有KF25抽氣口用于連接真空泵，配有數顯真空計，一個G1/4進氣口。

·設備帶有真空泵外接三芯插座和真空電磁擋板閥的外接航空插頭（將真空泵接入插座后，真空泵的運行和電磁擋板閥的開合由該系統自動控制）

·樣品臺支架有兩種，

一種可以放四個坩堝（坩堝材質可以根據客戶需求定制，如石英，氧化鋁，石墨）

·樣品臺支架材質是石英的

·坩堝尺寸外徑40mm高30mm

·樣品臺支架留有機器人抓取位置

·樣品臺帶有刻碼處理便于視覺傳感器捕捉

一種可以放置25-30片四英寸基片的石英支架如下圖

通過軟件可以進行以下操作

·設置加熱爐升溫曲線，設置通入加熱爐內氣體流量大小，設置取放樣循環次數。

·參數設置完成后，加熱爐配合機器手可以完成以下流程

1.機器人裝樣后，能夠自動關閉艙門

2.通入流動保護氣體

3.執行程序多段升溫恒溫和降溫步驟（高達50段）

4.程序完成后，停氣，能夠在500度打開艙門完成換樣，

（注：換樣過程中爐子需要盡量恒溫，保持加熱狀態）

5.換樣完成后，可以繼續重復進行原有的溫度程序。

（程序開源，配合機械手和對軟件進行嵌入式循環工藝控制）

6.全流程自動記錄工藝

軟件顯示顯示以下參數：

·爐管內壓力

·設備內置一路0-1000sccm的質量流量控制器

·清洗周期（0-3次）

·前面板上安裝RJ45通信接口，可連接PC或無線路由器實現遠程控制(PC和路由器可另行提供)  

·電腦操作軟件，可支持多臺加熱爐

·向現有客戶開放通信代碼，將設備與機器人連接，實現無人操作  

·額定負載：5KG

·工作半徑：850mm

·最大臂展：1096mm

·額定電壓：DC48V

·本體重量：25KG

·重復定位精度：±0.02mm

·通訊方式：TCP/IP,Modbus,無線網絡

·典型功耗：150W

·型號：KJ-5000

·工作電壓：AC 220V 50HZ

·工作電流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h

·壓縮機功率：300W，水箱容量：6L

·最大流量：16L/min，凈重：24 Kg

GSL-LCD是一款低成本的流量計控制系統，其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜最大可以承重約450公斤（1000lbs），與本公司大多數管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上上以節約空間。各通道氣路的流量設定和狀態顯示都集中在一個6″的LCD觸摸屏上，便于操控的同時，可實時查看氣體流量曲線和數據。此款設備廣泛應用于各種材料CVD實驗和退火實驗。

產品特點：

1、適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其方便多重氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管

2、氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便

3、采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準確，方便操作

4、所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸

基本參數：

1、電源：AC 220V 50HZ

2、功率：23W

3、工作溫度：5-45℃

4、最大壓力：3*10-6Pa

5、精度：±1.5% FS

6、重復精度：±0.2% FS

7、流量范圍：100、200、200、500sccm

PLC觸摸屏：

1、各通道的氣路設定和查看都集中的6″的觸摸屏上

2、RS485通訊接口通過信號線連接在電腦上，可在電腦上進行遠程控制

機械壓力表與混氣罐：

1、有一機械壓力表安裝在前面板上，與混氣罐相連接

2、壓力表量程：-0.1~0.15MPa

3、混氣罐尺寸：φ80*120mm

通氣管道與截止閥：

1、內部連接管道為1/4″不銹鋼管和四氟管

2、外部連接管道為1/4″四氟管連接氣瓶

3、控制閥門為316不銹鋼雙卡套角式穿板截止閥

GZK-PID-VRD24是一款低真空恒壓控制系統，內部含一抽速可達6.6L/s的雙級旋片機械泵VRD-24，通過PID控制真空泵的轉速來控制抽氣速率，進而獲得對腔室內壓力的精密測量和恒壓控制，可與我公司的管式爐、鍍膜儀等設備結合，實現PVD、CVD以及PECVD等工藝的壓力恒定的精確控制。廣泛應用于擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜工藝、光纖熔煉、混氣配氣系統及其它分析儀器中。

產品特點：

1、含一雙旋片機械泵VRD-24，抽速可達6.6L/s

2、PLC觸摸屏控制，觸摸屏顯示真空度及各項工作狀態，一鍵式操作，方便快捷

3、通過變頻器來PID調節真空泵的電機轉速從而控制抽氣速率，使抽氣速率與進氣量、漏氣率相匹配，從而達到精確的恒壓控制

輸入電源：

1、208-240VAC, 單相, 50/60Hz

2、功率為1000W

真空測量單元：

1、型號：PGC-554-LD

2、測量范圍：3.8E-5 to 1125 Torr

3、精度：

3.7×10-4 … 7.5×10-4 torr (N2) % of reading ±50 

7.5×10-4 … 75 torr (N2) % of reading ±15 

75 … 713 torr(N2) % of reading ±5 

713 … 788 torr(N2) % of reading ±2.5

真空泵系統：

1、機械泵型號：VRD-24

2、抽速：6.6L/S

3、進氣口：KF25

4、工作環境溫度：5-40℃

5、噪音：≦58 dB  

6、極限真空度：3*10-4 torr（不帶負載） 

壓力恒定控制系統：

1、壓力恒定控制范圍(進氣氣氛為氬氣)：

760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進氣量為500sccm）

600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進氣量為300sccm）

300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進氣量為100sccm）

180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進氣量為50sccm）

2、壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）

              ＞2.5torr-----10torr（±%40）

             ＞10 torr------200torr（±%5）

·外形尺寸：2000*1000*1800mm（長*寬*高） 

·約400kg

·1年質保，終身維護（不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件）

·剛玉管內氣壓不可高于0.02MPa；

·由于氣瓶內部氣壓較高，所以向石英管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全；

·設備需在獨立供電網下工作，電網電壓范圍要求在±8%內，不可與中頻高頻等高磁場發生設備共用供電網，并不可與該類型設備處于同一房間，如無法做到請對電網進行諧波檢測和治理，對設備進行電磁隔離處理

·我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。

·設備請遠離存在液體飛濺場所

·設備請遠離存在導磁導電粉末

·保溫和加熱元件為損耗件，保溫材料在燒結過程中出現裂紋為正?，F象，可使用修補劑修補，加熱元件為損耗件，在電爐長時間使用后無法達到工作溫度和升溫明顯緩慢后聯系廠家判斷是否要進行更換，

·該設備高精度溫控范圍為500-1600℃，低溫運行會存在溫度振蕩，

·該設備不建議在低于1000℃以下工作，這樣會降低加熱元件的壽命

·不建議500℃以上開啟爐膛

·請保持氣動供氣源的壓力穩定（0.5-0.6mpa）

·剛玉管和內置支架等高溫陶瓷部件屬于易損易耗原件，不在質保的范圍