| 產品名稱 | 1200℃坩堝可移動型HPCVD爐-OTF-1200X-S-HPCVD |
| 產品提示 | 1.多種配件可選提示 2.科晶實驗室邀請提示 ? 3.配件妥善保管提示 |
| 產品特點 | · 爐子配備步進電機，通過觸摸屏數字控制器使樣品臺或坩堝在爐管內移動。 · 最高溫度可達1200℃。 · 雙層殼體結構，并帶有風冷系統，可有效降低殼體表面溫度。 · 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。 · 可選擇改造為雙溫區管式爐，但需額外付費，以產生更高的熱梯度或更長的恒溫區。 |
| 基本參數 | · 最高溫度: 1200℃（≤30min） 工作溫度: 1100℃ · 推薦升溫速率:≤10℃/min · 加熱區長度：200mm · 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金 · 電壓：220V · 最大功率為：2KW |
| 真空密封 | · 高純石英管50mm外徑x44mm內徑x 450mm長 · 采用KF結構密封法蘭，硅膠密封圈密封 · 法蘭上安裝有一個機械壓力表 · 右端法蘭與一個真空不銹鋼波紋管連接 |
| 坩堝移動機構和PLC控制 | · 一個直徑為1/4＂的鎧裝熱電偶（K型），通過法蘭伸入到爐管中，并可隨坩堝移動，可實時監測樣品的實際溫度。（見圖一） · 通過步進電機移動爐管內的坩堝（樣品臺），最大行程為100mm。 · 通過觸摸屏設定坩堝一定的距離和目標位置，坩堝移動速度為180mm/min（可根據要求提供變速控制，但需額外付費）。（見圖二） · 在熱電偶上安裝了一個微型坩堝舟。（ 見圖三） · 可根據要求提供用于晶片的氮化鋁樣品架或石墨平板基底支架，將收取額外的定制費（見圖四）。 圖一 圖二 圖三 圖四 圖五 |
| 溫控系統 | · 采用PID方式調節溫度，可設置50段升降溫程序 · 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護 · 儀表控溫精度: +/- 1°C |
| 質保 | · 一年保修，終身技術支持。 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
應用技術提示 | · 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。 · 進入爐管的氣體流量需小于200sccm，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 · 石英管的長時間使用溫度<1100℃。 · 降溫時請利用程序降溫，不建議直接按“STOP”鍵降溫，設備溫度未降到室溫前不要直接關掉設備電源，防止出現安全問題。 · 該多功能爐適用于以下應用： · RTE（快速熱蒸發）：蒸發料放在坩堝中，放入到爐體中心，基片放在樣品臺上，樣品臺與熱電偶相連接，然后將樣品臺移動到理想的位置（此位置溫度是實驗所需要的溫度）。 · HPCVD（混合物理化學沉積）：與RTE相似，但需配混氣系統，對反應氣體混合并控制流量，同時也需設定蒸發料的位置（確定蒸發料的蒸發溫度）。 · 水平布里奇曼晶體生長：將樣品和籽晶裝入坩堝中，并將其放置在爐子的中心位置。以所需的速度移動坩堝，可以在合適的溫度梯度下生長單晶。 · 對于水平定向結晶（HDC），您可以使用氣體進料槽。（見下圖） |
警示 | · 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態。 · 爐管內氣壓不可高于0.02MPa。 · 爐管不建議正壓使用，對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 |
可選配件 | · 多種供氣系統可選。(圖1) · 建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。（請點擊這里學習如何安裝減壓閥）。(圖2) · 可選購壓力控制模塊來監控并保持工作腔室壓力穩定。(圖3) · 可選購歐陸儀型溫控儀表，控溫精度可以提升到±0.1℃。(圖4) · 可選購石英管堵，提高路管內的潔凈度和幫助獲得高真空。（圖5） · 可選購石英舟盛放樣品。（圖6）
圖一 圖二 圖三 圖四 圖五 圖六 |
PC控制(選配） | · 請在購買爐子前，準備一臺電腦。 · 可選購MTS-02?控制軟件，可在電腦上顯示和設定壓力和溫度程序，以達到遠程控制。 · 購買帶有PC控制的加熱爐，如有疑問請聯系我們的銷售人員。
|
真空配件(選配） | · 真空可選配件包括真空泵，波紋管和手動擋板閥。
· 對于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標配數量外可進行額外訂購。
· 機械真空計（作為設備標配），范圍從-0.1到0.15Mpa。 · 可選配防腐型數顯真空表，測量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復性及較短的響應時間外，該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數錯誤從而導致的腔室爆炸風險。
|
真空泵組(選配） | 此設備也可以進行抽真空，配合本公司生產的真空泵組
|
![23453[1].png](/UserFiles/upload/image/20220322/6378354521547662968710417.png "23453[1].png")
合肥科晶品牌紀錄片 公司環境
查看誠信檔案
皖公網安備 34012302000974號
