| 設備名稱型號 | ·等離子清洗機 PDC-36G/220V |
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| 特點 | ·結構緊湊，小型的桌面型儀器 ·用各種氣體清洗和去除晶片上納米級有機污染物 ·鉸鏈式門，方便裝樣、取樣 ·清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更換 ·使用可調射頻電源，可以設置功率為低、中、高級別；低成本、操作安全 |
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| 基本參數 | ·電源：AC 220V 50/60HZ ·功率：200W |
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| 結構 | ·腔體內裝入一根尺寸為φ80*205mm的石英管，石英管內可放入一個石英舟，最大可清洗2英寸的基片 ·腔門上安裝有一個不銹鋼三通，含有一個φ6.35的卡套接頭，做為進氣口使用，一個不銹鋼針閥控制進氣量，。一個不銹鋼三通球閥控制各通道的通斷。一個KF16的接口安裝了一個電阻規，電阻規信號線連接到電阻真空計上。設備背面的一個KF25接口與真空系統連接 ·腔體頂部有一φ35mm的石英觀察窗用于觀察腔室的反應
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| 工作氣體 | ·許多惰性氣體都可以作為等離子清洗的氣體，如氮氣、氬氣、空氣和混合氣體，選擇的氣體與清洗的材料相對應 ·等離子清洗不能使用易燃的氣體 |
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| 等離子直流電源 | ·輸入電壓:AC 220V 50HZ ·輸出頻率：13.56MHZ ·壓力范圍：1-1999Torr ·功率可調，分為低、中、高三個等級：
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| 電阻真空計 | ·型號：ZDZ-52T ·顯示方式：LED數字顯示 ·測量范圍：1.0*105~1.0*10-1（Pa） ·準確范圍：3.0*103~1.0*100（Pa） ·參考范圍：1.0*105~3.0*103（Pa） 1.0*100~1.0*10-1（Pa） ·功率：10W ·使用環境：溫度-10~50℃；濕度＜90%
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| 真空系統（選配） | ·型號：VRD-8 ·抽氣速率：2.2 L/S ·電機功率：370 W ·極限壓強：5×10-1Pa（不帶負載） ·實際壓強：≤5 Pa（帶上爐管和密封法蘭，冷態下機械泵抽20分鐘） ·如果想要獲得更高的真空度（10-5toor 或更高）可選購國產或進口高真空機組
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| 設備外形尺寸 | ·350mm（L）*375mm（W）*400mm（H） |
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| 重量 | ·約9kg |
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| 質保 | ·一年質保期，終生維護 ·特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內 |
·科晶應用技術實驗室用此設備清洗基片，清除表面污染物，以供參考。
清洗前向基片上滴入0.05ml水滴，其結果如圖所示。通入氬氣清洗十分鐘后，向基片上滴入0.05ml水滴，其結果如圖所示。 | ||
石英 |
圖1 清洗前 |
圖2 清洗后 |
硅片 |
圖3 清洗前 |
圖4 清洗后 |
注意事項 | ·腔室中不可以通入正壓 ·在真空狀態下不要打開前級法蘭防止損壞玻璃室 ·如果清洗機腔室不能立即充氣，油會回流到腔室污染系統，故真空泵請安裝防回油裝置 ·此設備不建議使用有毒有害氣體。 |
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皖公網安備 34012302000974號
